四(二甲氨基)锆(IV)

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四(二甲氨基)锆(IV)
Fujian Wolfa Biotechnology Co., Ltd
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CAS: 19756-04-8。 Tetrakis(二甲氨基)锆(IV)主要用于 CVD、ALD、等离子体增强原子层沉积(PEALD)工艺,是生产 ZrO 的前驱体
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