双（三甲基硅基）胺六甲基二硅氮烷 Hmds CAS 999-97-3

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双（三甲基硅）胺（又称六甲基二硅氮烷和 HMDS）是一种有机硅化合物，分子式为 (CH3)3Si2NH。该分子是氨的衍生物，用三甲基硅基取代了两个氢原子。电子衍射研究表明，硅-氮键长度（173.5 pm）和硅-氮-硅键角度与二硅氮烷（其中甲基被氢原子取代）相似，表明在这种情况下，立体因素不是调节角度的因素。这种无色液体是一种试剂，也是有机合成和有机金属化学中常用的碱的前体。此外，HMDS 还越来越多地被用作化学气相沉积技术中的分子前驱体，用于沉积碳化硅薄膜或涂层。

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